台阶仪测量膜厚原理

时间：2025-04-09 17:00:50

台阶仪测厚原理

台阶仪的测厚原理是通过接触式测量表面形貌。当测针以微小的力量轻轻划过样品表面时，样品表面的微小高低起伏通过与测针连接的传感器得到放大，然后被转换成电子信号，输入到电脑软件中，最终以数字和图形的数据形式展现出来。台阶仪可以测量微观二维（2D）形貌轮廓，表面粗糙度、膜厚以及磨损量。根据使用传感器的不同，接触式台阶测量可以分为电感式、压电式和光电式3种。